作者:郭佳明颁布功夫:2026-05-29 01:54:40 点击数:84952

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售后服务上门服务电话,智能分配单据:CPO量产的真正瓶颈:不是造作,而是测试

当AI数据中心的算力扩张推动CPO走向量产,一个被忽视的环节正成为整条产业链的瓶颈地点——测试 。

随着AI数据中心规模持续扩张,传统铜互连已逼近物理极限,共封装光学(CPO)被业界视为下一代AI基础设施的关键互连规划之一 。台积电的COUPE平台预计2026年进入量产,CPO正从尝试室走向贸易化 。

然而,CPO的检测与测试环节仍是一路难以逾越的门槛 。行业目前不足统一尺度,流程高度依赖人为,这使得测试成为造约CPO芯片大规模量产的重要瓶颈之一 。TrendForce近日颁布的钻研对这一问题进行了系统梳理 。

为什么CPO测试这么难?

理解这个问题,先要理解CPO的结构 。

CPO将光学组件集成进光子集成电路(PIC),再与电子集成电路(EIC)共封装在一颗芯片内,用光路代替电路,从而降低功耗和延长 。PIC与EIC键合后的组件称为光学引擎(OE) 。

传统EIC测试是纯电学测试,而PIC内部蕴含耦合器、调造器、光电探测器、光学滤波器、光波导等大量光学组件 。测试一个OE,必要同时具备电学、光学和光电交互三方面的专业能力,复杂度远超传统芯片测试 。

PIC测试必要丈量插入损耗(IL)、偏振有关损耗(PDL)、响应度、波导传布损耗、光学串扰等参数,而这些参数量前没有统一的测试尺度 。

还有一个更具体的物理难题:光学探针的精准对准 。

将表部光从光纤导入OE光波导的过程叫做光耦合 。单模光纤纤芯截面积约为78.5平方微米,而光波导截面积仅约0.099平方微米——两者相差近800倍 。没有纳米级的对准精度,耦合损耗将极为巨大 。

这意味着,光纤阵列必须在距晶圆或芯片表表维持精确间距的同时,对耦合器角度进行微调,以最大化光功率传输,再顺次扫描分歧波长领域 。这套操作目前仍依赖人为实现 。

了局是:单颗PIC芯片的100%检测,均匀耗时超过100秒 。这是CPO芯片量产的主题卡点之一 。

“EIC测试与PIC测试对比表”——对比测试道理、对准精度、行业成熟度、重要探针卡厂商四个维度,图源:TrendForce,下同

四个测试阶段,最关键的是哪一步?

一颗CPO芯片从晶圆到系统,必要经历四个测试阶段:

第一阶段:PIC晶圆级测试(OWAT)——直流电学与光学基础测试,蕴含光功率、损耗、暗电流等根基光学参数丈量 。

第二阶段:EIC-PIC晶圆级测试——调造职能测试(电光、光电、光光),高速测试及S参数丈量 。

第三阶段:OE级测试——全流程校准、直流测试、高速测试、光学回路测试及S参数丈量 。这是确认"已知优良光学引擎"(KGOE)的关键阶段 。

第四阶段:先进封装?榧恫馐浴低持澳苎橹び牍庋Щ芈凡馐 。

四个阶段中,第一阶段PIC晶圆级测试最为关键 。

逻辑很直接:PIC通常选取成熟造程造作,而EIC则使用先进造程,成本高昂 。若是能在PIC与EIC键合之前,就在晶圆阶段筛出缺点品,就能预防将昂贵的EIC浪费在有问题的PIC上,大幅降低后续工序的损耗 。

这就像流水线上的质检——越早发现问题,损失越幼 。

"CPO造作流程与测试阶段示意图"——从晶圆验收测试到系统级测试的齐全流程图

设备商格局:巨头补课,新玩家入场

CPO测试设备市场在加快成形,传统ATE(自动测试设备)巨头与光学测试专业厂商之间的整合是主线 。

Advantest与FormFactor

传统EIC测试市场由日本Advantest和美国Teradyne主导 。CPO测试要求同时具备EIC和PIC测试能力,两家巨头均选择与光学探针专业厂商合作来补齐短板 。

Advantest的蹊径是与FormFactor合作 。2024年6月,Advantest结合Jenoptik和Ayar Labs推出UFO探针卡,将电学和光学探针集成在统一张卡上,实现电光同步测试 。其主题创新是对准容差赔偿技术——通过对光学探针输出光束进行特殊整形,即便探针定位存在轻微误差,光信号仍能进入PIC耦合器,大幅缩短对定功夫 。

2025年4月,Advantest与FormFactor进一步推出V93000-Triton光子测试系统,建设9轴光子对准职能和FormFactor的OptoVue Pro光学对准系统 。其CalVue技术通过怪异设计的逆向反射镜观测光纤阵列,结合自动机械视觉算法实时校准Z轴位移和光学定位,进一步压缩光纤对定功夫 。

Teradyne与ficonTEC

Teradyne则通过收购和合作左右开弓 。2025年,Teradyne收购了Quantifi Photonics,并与德国ficonTEC(现为中国Robo Technik旗下子公司)合作 。

2025年3月,双方结合推出业界首款高产量300毫米双面晶圆探针测试系统 。ficonTEC提供WLT-D2双面晶圆测试平台,具备50纳米领域的精密对准能力,可同时在晶圆顶面进行电学测试、底面进行光学测试,提升测试效能 。Teradyne则提供UltraFLEXplus ATE和IG-XL系统软件 。

后续推出的DLT-D1是双面芯片级测试系统,最多可同时衔接三个并行测试头,提升吞吐量、降低测试成本 。至此,ficonTEC形成了从晶圆级到芯片级的齐全CPO测试产品线 。

Keysight是丈量仪器领域的全球辅导者,同样提供齐全的PIC晶圆测试规划,并与FormFactor集成,兼容FormFactor的Velox探针节造软件 。

Keysight的N778x系列偏振合成器可在分歧偏振态(SOP)之间急剧切换,共同N7700100C偏振Lambda扫描软件,通过矩阵步骤推导IL、PDL、TE/TM IL等参数 。这套规划无需偏振维持光纤,也无需在多个波长点手动预校对偏振,大幅提升测试效能 。其SOP不变技术还能将输入光的偏振态锁定在特定点,确保整个波长扫描过程中光耦合的不变性 。

Chroma是系统级测试(SLT)设备的全球辅导者 。其光电二极管老化与靠得住性测试系统Model 58604/58604-C/58606系列,专为3D传感器件、激光器、光电探测器、调造器等PIC组件的靠得住性测试而设计 。Model 58606每?椴闾峁256个SMU通路,最多可配置7层,计算1792个通路 。Chroma已颁发将利用其在SLT阶段的光学测试专长,投入CPO测试设备的研发 。

2025年9月,Enlitech与iST合作推出Night Jar硅光芯片测试平台 。这是一套附加式高光谱成像分析系统,可直接装置在肆意品牌探针台上,合用于WAT、CP、FT等各测试阶段 。

Night Jar解决的是一个持久存在的行业痛点:此前,光波导中的漏光地位只能通过反射光粗略估计,只能获得总体或均匀光损耗值 。Night Jar可能精确定位漏光地位,并丈量特定波导段或光学组件的量化IL值,支持晶圆级光损耗映射,援手研发人员更急剧正确地鉴别缺点,最终提升出产良率 。

"CPO测试设备供给链全景表"——涵盖光学探针、计量仪器与系统、自动测试设备三大类此外供给商散布图

市场机遇窗口在打开

芯片设计日趋复杂,SoC测试难度持续上升,单颗芯片所需的测试站数量和总测试功夫不休增长,测试设备在半导体设备本钱开支中的占比随之提升 。随着CPO芯片被纳入产品组合,这一占比预计将进一步走高 。

CPO测试设备市场在成形 。从设备商格局来看,传统自动测试设备巨头Advantest和Teradyne正通过并购与合作急剧补齐光学能力,Keysight、Chroma、Enlitech等则在各自细分领域占据地位 。整个供给链从光学探针、计量仪器到自动测试设备,在萦绕CPO测试需要沉新组织 。

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然而,CPO的检测与测试环节仍是一路难以逾越的门槛 。行业目前不足统一尺度,流程高度依赖人为,这使得测试成为造约CPO芯片大规模量产的重要瓶颈之一 。TrendForce近日颁布的钻研对这一问题进行了系统梳理 。

为什么CPO测试这么难?

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传统EIC测试是纯电学测试,而PIC内部蕴含耦合器、调造器、光电探测器、光学滤波器、光波导等大量光学组件 。测试一个OE,必要同时具备电学、光学和光电交互三方面的专业能力,复杂度远超传统芯片测试 。

PIC测试必要丈量插入损耗(IL)、偏振有关损耗(PDL)、响应度、波导传布损耗、光学串扰等参数,而这些参数量前没有统一的测试尺度 。

还有一个更具体的物理难题:光学探针的精准对准 。

将表部光从光纤导入OE光波导的过程叫做光耦合 。单模光纤纤芯截面积约为78.5平方微米,而光波导截面积仅约0.099平方微米——两者相差近800倍 。没有纳米级的对准精度,耦合损耗将极为巨大 。

这意味着,光纤阵列必须在距晶圆或芯片表表维持精确间距的同时,对耦合器角度进行微调,以最大化光功率传输,再顺次扫描分歧波长领域 。这套操作目前仍依赖人为实现 。

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第二阶段:EIC-PIC晶圆级测试——调造职能测试(电光、光电、光光),高速测试及S参数丈量 。

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CPO测试设备市场在加快成形,传统ATE(自动测试设备)巨头与光学测试专业厂商之间的整合是主线 。

Advantest与FormFactor

传统EIC测试市场由日本Advantest和美国Teradyne主导 。CPO测试要求同时具备EIC和PIC测试能力,两家巨头均选择与光学探针专业厂商合作来补齐短板 。

Advantest的蹊径是与FormFactor合作 。2024年6月,Advantest结合Jenoptik和Ayar Labs推出UFO探针卡,将电学和光学探针集成在统一张卡上,实现电光同步测试 。其主题创新是对准容差赔偿技术——通过对光学探针输出光束进行特殊整形,即便探针定位存在轻微误差,光信号仍能进入PIC耦合器,大幅缩短对定功夫 。

2025年4月,Advantest与FormFactor进一步推出V93000-Triton光子测试系统,建设9轴光子对准职能和FormFactor的OptoVue Pro光学对准系统 。其CalVue技术通过怪异设计的逆向反射镜观测光纤阵列,结合自动机械视觉算法实时校准Z轴位移和光学定位,进一步压缩光纤对定功夫 。

Teradyne与ficonTEC

Teradyne则通过收购和合作左右开弓 。2025年,Teradyne收购了Quantifi Photonics,并与德国ficonTEC(现为中国Robo Technik旗下子公司)合作 。

2025年3月,双方结合推出业界首款高产量300毫米双面晶圆探针测试系统 。ficonTEC提供WLT-D2双面晶圆测试平台,具备50纳米领域的精密对准能力,可同时在晶圆顶面进行电学测试、底面进行光学测试,提升测试效能 。Teradyne则提供UltraFLEXplus ATE和IG-XL系统软件 。

后续推出的DLT-D1是双面芯片级测试系统,最多可同时衔接三个并行测试头,提升吞吐量、降低测试成本 。至此,ficonTEC形成了从晶圆级到芯片级的齐全CPO测试产品线 。

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Night Jar解决的是一个持久存在的行业痛点:此前,光波导中的漏光地位只能通过反射光粗略估计,只能获得总体或均匀光损耗值 。Night Jar可能精确定位漏光地位,并丈量特定波导段或光学组件的量化IL值,支持晶圆级光损耗映射,援手研发人员更急剧正确地鉴别缺点,最终提升出产良率 。

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CPO量产的真正瓶颈:不是造作,而是测试
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CPO量产的真正瓶颈:不是造作,而是测试类似软件

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